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采購多工位排氣臺

工藝技術(shù)要求:1.同時(shí)可對12個(gè)以上液氮杜瓦進(jìn)行排氣2.單個(gè)液氮杜瓦真空度<3pa,抽真空時(shí)間≤1min;12個(gè)液氮杜瓦真空度<3pa,抽真空時(shí)間≤40min3.極限真空度≤0.01pa

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